Substrat ti gafre ti quartz
A-Substrat ti Quartz ayeke a-wafer so a sara ni kozoni kue na quartz so ayeke nzoni-kue (SiO2), so a yeke sara kua na ni mingi na yâ ti a-semi-conducteur, a-optoélectronique, a-système électromécanique (MEMS), a-appareil ti bango na ye nga na ambeni ye nde.
Fango ye
Aye ti mitele
- Ga Purité:A yeke sara ni mingi na quartz so a leke ni na maboko ti zo (na tapande, silice so a futi ni), so ayeke na kota purité ( Ahon wala alingbi na 99,99%) nga so ayeke na kete saleté ti tene a sara ngangu na ndo ti kua ti appareil ni pëpe.
- Stabilité ti chaleur:A yeke wara na yâ ti a-étude ni (≈0,55×10−6/ degré ) nga na akota -ti ngangu ti gbungo wâ (point ti doucissement ~1600 degré ), so alingbi na akota kusala ti wâ.
- Kusala ti optique:Akota ndo ti lumière (UV ti si na IR), na lumière ti UV so ayeke nde, so ayeke nzoni mingi teti amasque ti foto, a-objectif, na ambeni ye tongaso.
- Inert ti chimie:A yeke ngangu pëpe ti wara acide nga na alcali (gï acide hydrofluorique oko pëpe), so alingbi na akusala ti gravure so ayeke na ngu.
- Isolation ti courant:High resistivity (>1016 Ω·cm), so ayeke nzoni mingi teti a-isolation ti substrat wala a-appareil so ayeke na kota -fréquence.
A-application
A yeke sara a-semi-conducteur
- Azo ti foto ti masque
- Akota ye ti lithographie ti EUV
- Azo so ayeke sara kua na a-gafre
Photonique na optoélectronique
- A-optique ti fango lege na a-onde
- A yeke wara na yâ ti diode ti laser
- A-composant ti calcul ti quantum
A-application so ayeke nde
- A-base ti résonneur ti MEMS
- Optique ti télescope ti ndo ti sese
- A-système ti laser so ayeke na ngangu
Processus ti lekengo ye
- Synthèse ti akota ye:A yeke sara ni na lege ti ziango na yâ ti pupu (na tapande, oxidation ti SiCl4) wala na lege ti sukulango quartz so ayeke na yâ ti ngu.
- Fusion na Formation:Ga-température ti futingo na pekoni ti sala si a ga wâ na yâ ti a-ingot wala ti fa directement na yâ ti a-barre.
- Ti fâ:A fâ yâ ni na akete wafer na lege ti scie ti diamant wala na lege ti laser.
- Moulin na polishing:A yeke sara kua na a-appareil ti chimie (CMP) ti sara si a yeke ngangu pëpe ti wara nanomètre-.
- Ti sukula ndo nga ti bâ ni:A zi akete kete ye nga na asioni ye so ayeke na yâ ti wen, na pekoni a sara a-épreuve ti défaut nga na ti paramètre.
Aye ti kua
|
Aye ti mitele |
A-valeur |
|
Purité |
＞99.99% |
|
Ngangu ti lo |
2,2g/cm3 |
|
Sarango ye polele |
＞90% |
|
Mohs ngangu |
5.5--6.5 |
|
Point ti déformation |
1280 degré |
|
Point ti adoucissement |
1750 degré |
|
Point ti arnoige |
1250 degré |
|
Chaleur so ayeke mbilimbili (20 - 350 degré ) |
670J/kilo oko. kota ti lo |
|
A yeke wara na yâ ti ni (20 degré ) |
1,4W/m. kota ti lo |
|
A yeke ngangu pëpe ti tene wâ ahon (p/mk, degré 1000) |
1.0-1.2 |
|
Index ti réfraction |
1.4585 |
|
Coefficient ti ngbongboro ni . |
5.510 -7cm/cm. kota ti lo |
|
Température ti kusala ti wâ - |
1750--2050 degré |
|
Température ti kusala ti kete ngoi - |
1450 degré |
|
Température ti kusala ti ngoi - |
1100 degré |
|
A-propriété ti chimie |
A-valeur |
|
Acide so ayeke na ngangu pëpe |
Ngangu acide (gï HF), Ngangu alcali, solution organique |
|
Ga na akota ngu-nzapa Corrosion . |
Nzoni mingi |
|
Asioni ye so ayeke na yâ ti wen |
<5 ppm |
|
A yeke na lege ti courant |
A-valeur |
|
Resistance |
7107Ω.cm |
|
Ngangu ti isolation |
250~400 kv/cm |
|
Constante ti diélectrique |
3.7~3.9 |
|
Coéfficient ti absorption ti dielectrique |
＜410-4 |
|
Coéfficient ti perte ti dielectrique |
＜110-4 |
|
A-propriété ti mécanique |
A-valeur |
|
Ngangu ti compression |
1100 MPa |
|
Ngangu ti courbure |
MPa |
|
Ngangu ti gbungo ye |
48MPa |
|
Ratio ti Poisson |
0.14~0.17 |
|
Module ti Young |
72000 MPa |
|
Module ti cisaillement |
31000 MPa |
FAQ
Q1: Nyen la ayeke kota ye mingi na yâ ti substrat ti wafer ti quartz?
A: A yeke sara kua na 300mm ti diamètre, na a yeke wara a-prototype ti 450mm ndali ti R&D.
Q2: Mo lingbi ti mû na ala aprofil ti épaisseur so a leke ni nde?
A: En - a lingbi ti sara:
- A-plaque ti coin (teti kusala na laser)
- Adessin so ayeke conique na lege ni
- Mésa-a leke ayanga ti kodoro
Q3: Protocole ti sukulango ngu wa la mo yeke sara?
A: Standard ti RCA ti sukulango ye:
1. A yeke zi na yâ ti ngu (H2SO4:H2O2)
2. A yeke sara kua na a-ion (HCl:H2O2)
3. HF-ndangba ti ndo so ayeke na ngu .
Tag ti wâ: substrat ti plaque ti quartz, Chine azo so ayeke sara substrat ti plaque ti quartz, azo so ayeke mû ni, usine
Tokua hundango tënë .
Mo lingbi nga ti ye .
