Bateau ti sukulango na gofre ti quartz
Mbeni bateau ti sukulango na aplaque ti quartz ayeke mbeni ye so a sala kusala na ni ti sukula na aplaque ti quartz na yâ ti kusala ti lekengo a-appareil ti semi-conducteur.
Ye so a sara na ni: 99,99% ti quartz
Fango ye
Anzene nzene ye
- Ga na ngangu ti gbu ngangu .
- Ti kanga lege na corrosion
- Resistance ti bongo
- A yeke ngangu pëpe ti sukula ni .
Lo: zi asioni ye so ayeke na ndo ti sese .
A yeke nzoni e sara kua na a-appareil ti semi-conducteur.
Ti sara kua na ni
1. Kozoni -Salango ye ti Diffusion .
A yeke sala kusala na ni ti yô na a-gafre na lege ti banc ti ngu wala ti sukulango na ngu (na tapande, sukulango na RCA) ti zi asioni ye so ayeke na yâ ti ngu, na wen, nga na akete kete ye kozoni si a sala kusala na diffusion wala oxidation so ayeke na kota ndowa.
2. Na peko ti so a sara kua na CMP (Planarisation mécanique chimique)
A yeke gbu a-wafer na ngoi ti post-polishing ti zi a-résidu ti boue nga na asioni ye so ayeke na ndo ni, ti tene a duti nzoni plat ndali ti a-étape ti lithographie so ayeke ga na pekoni.
3. Devant-Fini-ti-Ligne (FEOL) Fabrication
A sala kusala na ni na yâ ti akota kapa ti sukulango ye ti FEOL so a hunda ti sala kusala na asurface so ayeke ultra-so ayeke propre mingi teti maïngo ti oxide ti porte, ti ziango na yâ ti épitaxial, wala ti ziango na yâ ti ion.
4. Na peko ti -Fini-ti -Ligne (BEOL) ti kusala
A mû maboko na a-wafer na ngoi ti sukulango ye na peko ti -gravure wala na peko ti -deposition ti zi a-photorésistance, a-produit ti gravure, nga na asioni ye so ayeke na yâ ti wen na peko ti so a leke a-interconnexion.
5. Emballage ti gue na li ni .
A yeke ngangu pëpe ti sukula nivo ti wafer- kozoni si a fâ yâ ni wala a bungbi ni na yâ ti a-emballage ti IC 2.5D/3D, na a sara si a yeke wara a-interface so ayeke na saleté pëpe ndali ti a-interconnexion so zo alingbi ti zia bê na lo.
6. Salango kusala na fotovoltaïque .
A yeke sala kusala na ni na yâ ti lekengo acellule ti lâ ti sukula na abongo ti silicium, ti sala si ndo ni aga nzoni ahon ti kozo ti tene lumière agbu yâ ni nzoni nga ti gbian ngangu ti zo nzoni.
Aye ti kua
|
Aye ti mitele |
A-valeur |
|
Purité |
＞99.99% |
|
Ngangu ti lo |
2,2g/cm3 |
|
Sarango ye polele |
＞90% |
|
Mohs ngangu |
5.5--6.5 |
|
Point ti déformation |
1280 degré |
|
Point ti adoucissement |
1750 degré |
|
Point ti arnoige |
1250 degré |
|
Chaleur so ayeke mbilimbili (20 - 350 degré ) |
670J/kilo oko. kota ti lo |
|
A yeke wara na yâ ti ni (20 degré ) |
1,4W/m. kota ti lo |
|
A yeke ngangu pëpe ti tene wâ ahon (p/mk, degré 1000) |
1.0-1.2 |
|
Index ti réfraction |
1.4585 |
|
Coefficient ti ngbongboro ni . |
5.510 -7cm/cm. kota ti lo |
|
Température ti kusala ti wâ - |
1750--2050 degré |
|
Température ti kusala ti kete ngoi - |
1450 degré |
|
Température ti kusala ti ngoi - |
1100 degré |
|
A-propriété ti chimie |
A-valeur |
|
Acide so ayeke na ngangu pëpe |
Ngangu acide (gï HF), Ngangu alcali, solution organique |
|
Ga na akota ngu-nzapa Corrosion . |
Nzoni mingi |
|
Asioni ye so ayeke na yâ ti wen |
<5 ppm |
|
A yeke na lege ti courant |
A-valeur |
|
Resistance |
7107Ω.cm |
|
Ngangu ti isolation |
250~400 kv/cm |
|
Constante ti diélectrique |
3.7~3.9 |
|
Coéfficient ti absorption ti dielectrique |
＜410-4 |
|
Coéfficient ti perte ti dielectrique |
＜110-4 |
|
A-propriété ti mécanique |
A-valeur |
|
Ngangu ti compression |
1100 MPa |
|
Ngangu ti courbure |
MPa |
|
Ngangu ti gbungo ye |
48MPa |
|
Ratio ti Poisson |
0.14~0.17 |
|
Module ti Young |
72000 MPa |
|
Module ti cisaillement |
31000 MPa |
Akode ti sukulango ye .
Ti sukula ngu na ngu:
Zia wafer ni na yâ ti bateau ti sukulango na ngu, na pekoni mo yôro bateau ti sukulango na ngu ni, na sara si ngu ti sukulango na ngu ni atingbi tere mingi na ndo ti wafer ni na lege so mo yôro bateau ni na nduzu ti tene a sukula ni nzoni.
Spray ti sukulango na ngu:
Luti bateau ti sukulango na ngu ni droit na yâ ti chambre ti sukulango ngu ni, na sara kua na buze ni ti tuku ngu ti sukulango na ngu na ndo ti wafer ni ti zi asioni ye. .
Kota ye ti sukulango abateau:
- Zia si a-ombre ni aduti propre: A yeke kota ye mingi ti tene a-ombre ni aduti propre, nga bateau ti sukulango ni ayeke sara kota kua na yâ ti kua ti sukulango ni.
- Zia si a lingbi ti zia bê na ndo ti apuce ti semi-conducteur: Sara si apuce ni aduti nzoni nga sara si asioni ye so ayeke na yâ ti aproduit ni adë na lege so a zi asioni ye so ayeke na ndo ni.
- Ti sara si a-appareil ti semi-conducteur aga nzoni: A yeke sara si a-appareil ti semi-conducteur ni aga nzoni, tongaso a yeke sara si a-appareil ti semi-conducteur ni aga nzoni.
Tag ti wâ: bateau ti sukulango na gato ti quartz, Chine azo so ayeke sara bateau ti sukulango na gato ti quartz, azo so ayeke mû ni, usine
Tokua hundango tënë .
Mo lingbi nga ti ye .
